远程等离子源(Major-0610L-Q02W)

被引:0
专利类型
外观设计
申请号
CN202430411049.0
申请日
2024-07-02
公开(公告)号
CN309080965S
公开(公告)日
2025-01-21
发明(设计)人
殷志诚 窦振华 顾小军 潘小刚 朱国俊
申请人
江苏神州半导体科技有限公司
申请人地址
225000 江苏省扬州市邗江区蜀岗西路19号1
IPC主分类号
15-05
IPC分类号
代理机构
南京源点知识产权代理有限公司 32545
代理人
陈彩霞
法律状态
授权
国省代码
江苏省 扬州市
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共 50 条
[1]
远程等离子源(Major-0610L-Q01) [P]. 
窦振华 ;
殷志诚 ;
顾小军 ;
潘小刚 ;
朱国俊 .
中国专利 :CN309080964S ,2025-01-21
[2]
远程等离子源电源(45L) [P]. 
冼健威 ;
颜罕 ;
邓富友 .
中国专利 :CN309567050S ,2025-10-28
[3]
远程等离子源发射器 [P]. 
冼健威 ;
颜罕 ;
邓富友 .
中国专利 :CN309660288S ,2025-12-09
[4]
远程等离子源的调整装置及远程等离子源清洗系统 [P]. 
魏景峰 ;
荣延栋 .
中国专利 :CN110899271B ,2020-03-24
[5]
等离子源 [P]. 
江部明宪 .
日本专利 :CN112702829B ,2025-08-15
[6]
等离子源 [P]. 
格里格·莫菲尔 ;
伯尔尼·史蒂夫 .
中国专利 :CN101731024A ,2010-06-09
[7]
等离子源 [P]. 
江部明宪 .
中国专利 :CN112702829A ,2021-04-23
[8]
真空电弧等离子源 [P]. 
缪同群 ;
谢圣鸣 .
中国专利 :CN307412498S ,2022-06-21
[9]
六氟化硫远程清洁等离子源 [P]. 
崔寿永 ;
王群华 .
中国专利 :CN1782133A ,2006-06-07
[10]
一种远程等离子源腔体 [P]. 
黄星星 ;
杨振怀 ;
郭晓东 ;
胡强 ;
侯少毅 .
中国专利 :CN119255467B ,2025-11-14