化学机械平坦化工具

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010542306.5

申请日：

2020-06-15

公开(公告)号：

CN112238395A

公开(公告)日：

2021-01-19

发明(设计)人：

龚俊豪王上瑜蔡晴翔黄惠琪陈科维

申请人：

申请人地址：

中国台湾新竹市

IPC主分类号：

B24B3710

IPC分类号：

B24B3704 B24B3732 H01L21768

代理机构：

隆天知识产权代理有限公司 72003

代理人：

聂慧荃;闫华

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-27	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):B24B 37/10 申请公布日:20210119
2021-01-19	公开	公开

共 50 条

[1]

化学机械平坦化工具 [P].

颜宏 ;

廖高锋 ;

何信颖 ;

萧钧文 ;

庄胜超 ;

张庭熏 ;

黄富明 ;

林均洁 ;

张简鹏崇 ;

崔骥 ;

陈亮光 ;

陈志宏 ;

陈科维 .

中国专利 :CN112405335A ,2021-02-26

[2]

化学机械平坦化工具和形成化学机械平坦化膜的方法 [P].

陈政炳 ;

李仁铎 ;

彭升泰 ;

赖宗龙 ;

谢子逸 ;

张建玮 .

中国专利 :CN109623630B ,2019-04-16

[3]

化学机械平坦化工具、监控缺陷系统与其方法 [P].

侯德谦 ;

唐祯玑 ;

沈稘翔 ;

林政锜 ;

吴振豪 ;

孙旭昌 .

中国专利 :CN118528175A ,2024-08-23

[4]

化学机械平坦化系统 [P].

陈世忠 ;

林奕劭 ;

彭升泰 ;

薛雅仁 ;

陈鸿霖 ;

李仁铎 .

中国专利 :CN111230731A ,2020-06-05

[5]

化学机械平坦化设备 [P].

张庭熏 ;

颜宏 ;

沈稘翔 ;

黄富明 ;

林均洁 ;

张宗宪 ;

崔骥 ;

陈亮光 ;

陈志宏 ;

陈科维 .

中国专利 :CN113134783A ,2021-07-20

[6]

化学机械研磨浆液与化学机械平坦化方法 [P].

侯惠芳 ;

刘文政 ;

陈彦良 ;

陈瑞清 .

中国专利 :CN101220255B ,2008-07-16

[7]

提高化学机械平坦化工艺均匀性的方法 [P].

杨涛 ;

赵超 ;

李俊峰 ;

侯瑞兵 ;

卢一泓 ;

崔虎山 .

中国专利 :CN103377911A ,2013-10-30

[8]

化学机械平坦化装置 [P].

徐峥 .

中国专利 :CN308996880S ,2024-12-10

[9]

用于化学机械平坦化的修整工具和技术 [P].

T·普萨纳甘达 ;

黄太郁 ;

S·拉马纳坦 ;

E·舒尔策 ;

J·G·巴尔多尼 ;

S·布利简 ;

C·迪恩-恩戈克 .

中国专利 :CN103252722A ,2013-08-21

[10]

用于化学机械平坦化的修整工具和技术 [P].

T·普萨纳甘达 ;

黄太郁 ;

S·拉马纳坦 ;

E·舒尔策 ;

J·G·巴尔多尼 ;

S·布利简 ;

C·迪恩-恩戈克 .

中国专利 :CN101563188A ,2009-10-21

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