用于化学机械平坦化的修整工具和技术

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200780039941.4

申请日：

2007-09-21

公开(公告)号：

CN101563188A

公开(公告)日：

2009-10-21

发明(设计)人：

T·普萨纳甘达黄太郁 S·拉马纳坦 E·舒尔策 J·G·巴尔多尼 S·布利简 C·迪恩-恩戈克

申请人：

申请人地址：

美国马萨诸塞州

IPC主分类号：

B24B3704

IPC分类号：

B24B5312 B24D306

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司

代理人：

朱黎明

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-06-19	授权	授权
2016-11-09	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101687192301 IPC(主分类):B24B 53/017 专利号:ZL2007800399414 申请日:20070921 授权公告日:20130619 终止日期:20150921
2009-12-16	实质审查的生效	实质审查的生效
2009-10-21	公开	公开

共 50 条

[1]

用于化学机械平坦化的修整工具和技术 [P].

T·普萨纳甘达 ;

黄太郁 ;

S·拉马纳坦 ;

E·舒尔策 ;

J·G·巴尔多尼 ;

S·布利简 ;

C·迪恩-恩戈克 .

中国专利 :CN103252722A ,2013-08-21

[2]

化学机械平坦化工具和形成化学机械平坦化膜的方法 [P].

陈政炳 ;

李仁铎 ;

彭升泰 ;

赖宗龙 ;

谢子逸 ;

张建玮 .

中国专利 :CN109623630B ,2019-04-16

[3]

用作化学机械平坦化垫修整器的研磨工具 [P].

C·迪恩-古兹 ;

S·拉曼斯 ;

E·M·舒勒 ;

J·吴 ;

T·珀坦纳恩加迪 ;

R·维达塔姆 ;

T·黄 .

中国专利 :CN102341215B ,2012-02-01

[4]

用作化学机械平坦化垫修整器的研磨工具 [P].

C·迪恩-古兹 ;

S·拉曼斯 ;

E·M·舒勒 ;

J·吴 ;

T·珀坦纳恩加迪 ;

R·维达塔姆 ;

T·黄 .

中国专利 :CN103962943A ,2014-08-06

[5]

用于化学机械平坦化系统的有孔修整刷 [P].

斯蒂文·J·贝纳 .

中国专利 :CN101291777A ,2008-10-22

[6]

用于化学机械平坦化组合件的垫修整器和垫修整器组合件 [P].

D·耶内尔 ;

C·苏里亚加 ;

J·索萨 ;

L·厄乌尔 ;

J·里韦尔斯 ;

E·巴卢 .

美国专利 :CN113661031B ,2024-05-07

[7]

化学机械平坦化系统以及垫修整轮 [P].

黄君席 .

中国专利 :CN110524413A ,2019-12-03

[8]

化学机械平坦化工具 [P].

颜宏 ;

廖高锋 ;

何信颖 ;

萧钧文 ;

庄胜超 ;

张庭熏 ;

黄富明 ;

林均洁 ;

张简鹏崇 ;

崔骥 ;

陈亮光 ;

陈志宏 ;

陈科维 .

中国专利 :CN112405335A ,2021-02-26

[9]

化学机械平坦化工具 [P].

龚俊豪 ;

王上瑜 ;

蔡晴翔 ;

黄惠琪 ;

陈科维 .

中国专利 :CN112238395A ,2021-01-19

[10]

抛光垫修整器及化学机械平坦化的方法 [P].

宋健民 .

中国专利 :CN110871407A ,2020-03-10

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