用于化学机械平坦化组合件的垫修整器和垫修整器组合件

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202080027277.7

申请日：

2020-04-08

公开(公告)号：

CN113661031B

公开(公告)日：

2024-05-07

发明(设计)人：

D·耶内尔 C·苏里亚加 J·索萨 L·厄乌尔 J·里韦尔斯 E·巴卢

申请人：

恩特格里斯公司

申请人地址：

美国马萨诸塞州

IPC主分类号：

B24B53/017

IPC分类号：

B24B53/12 H01L21/67

代理机构：

北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287

代理人：

李婷

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-07	授权	授权

共 50 条

[1]

抛光垫修整器及化学机械平坦化的方法 [P].

宋健民 .

中国专利 :CN110871407A ,2020-03-10

[2]

化学机械平坦化垫的修整器及其相关方法 [P].

R·蒂瓦里 ;

C·苏里亚加 ;

B·阿灵顿 ;

P·多林 ;

A·A·加尔平 .

中国专利 :CN112135709A ,2020-12-25

[3]

CMP垫修整组合件 [P].

P·多林 ;

A·加尔平 ;

R·蒂瓦里 .

中国专利 :CN109922924A ,2019-06-21

[4]

用作化学机械平坦化垫修整器的研磨工具 [P].

C·迪恩-古兹 ;

S·拉曼斯 ;

E·M·舒勒 ;

J·吴 ;

T·珀坦纳恩加迪 ;

R·维达塔姆 ;

T·黄 .

中国专利 :CN102341215B ,2012-02-01

[5]

用作化学机械平坦化垫修整器的研磨工具 [P].

C·迪恩-古兹 ;

S·拉曼斯 ;

E·M·舒勒 ;

J·吴 ;

T·珀坦纳恩加迪 ;

R·维达塔姆 ;

T·黄 .

中国专利 :CN103962943A ,2014-08-06

[6]

化学机械平坦化系统以及垫修整轮 [P].

黄君席 .

中国专利 :CN110524413A ,2019-12-03

[7]

具有平坦化尖端的化学机械研磨垫修整器 [P].

宋健民 .

中国专利 :CN103329253B ,2013-09-25

[8]

化学机械平坦化（CMP）抛光垫修整器及制造方法 [P].

J·吴 ;

E·M·舒勒 ;

S·拉曼斯 ;

A·K·卡伍德 .

中国专利 :CN103299402A ,2013-09-11

[9]

一种抛光垫修整器及化学机械平坦化设备 [P].

崔凯 ;

岳爽 ;

李欢 ;

李婷 ;

蒋锡兵 ;

李岩 ;

景允伸 .

中国专利 :CN112077742A ,2020-12-15

[10]

化学机械研磨抛光垫修整器 [P].

王晓靁 ;

刘伯彦 .

中国专利 :CN106002632A ,2016-10-12

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