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化学机械研磨抛光垫修整器
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201610573553.5
申请日：
2016-07-20
公开(公告)号：
CN106002632A
公开(公告)日：
2016-10-12
发明(设计)人：
王晓靁
刘伯彦
申请人：
申请人地址：
361000 福建省厦门市火炬高新区（翔安）产业区翔岳路4号之1号厂房1层
IPC主分类号：
B24B53017
IPC分类号：
B24B3720
代理机构：
厦门市新华专利商标代理有限公司 35203
代理人：
李宁
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2016-10-12 | 公开 | 公开 |
| 2019-02-01 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):B24B 53/017 申请公布日:20161012 |
| 2016-11-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101687273072 IPC(主分类):B24B 53/017 专利申请号:2016105735535 申请日:20160720 |