研磨垫修整器及化学机械研磨设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420827023.9

申请日：

2024-04-19

公开(公告)号：

CN222114716U

公开(公告)日：

2024-12-06

发明(设计)人：

请求不公布姓名

申请人：

芯恩（青岛）集成电路有限公司

申请人地址：

266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401

IPC主分类号：

B24B53/017

IPC分类号：

B24B37/20

代理机构：

上海光华专利事务所(普通合伙) 31219

代理人：

余明伟

法律状态：

授权

国省代码：

山东省青岛市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-12-06	授权	授权

共 50 条

[1]

研磨垫修整器及化学机械研磨设备 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN222269909U ,2024-12-31

[2]

研磨垫修整器及化学机械研磨设备 [P].

顾浩 ;

杨俊男 ;

闫晓晖 .

中国专利 :CN222806793U ,2025-04-29

[3]

研磨垫修整器及化学机械研磨设备 [P].

杨俊铖 .

中国专利 :CN111203800A ,2020-05-29

[4]

研磨垫修整器及化学机械研磨设备 [P].

张乐 ;

缪从海 .

中国专利 :CN222553229U ,2025-03-04

[5]

研磨垫修整器及化学机械研磨装置 [P].

尹良宣 ;

高林 .

中国专利 :CN216859379U ,2022-07-01

[6]

研磨垫修整器及化学机械研磨装置 [P].

田得暄 ;

辛君 ;

林宗贤 ;

吴龙江 .

中国专利 :CN207448221U ,2018-06-05

[7]

研磨垫修整器及化学机械研磨装置 [P].

王海宽 ;

林宗贤 ;

吴龙江 ;

郭松辉 ;

吕新强 .

中国专利 :CN207273005U ,2018-04-27

[8]

研磨垫修整器及化学机械研磨装置 [P].

杨俊男 .

中国专利 :CN114603483A ,2022-06-10

[9]

研磨垫修整方法、研磨垫修整装置及化学机械研磨设备 [P].

陈盈同 .

中国专利 :CN106239356A ,2016-12-21

[10]

化学机械研磨装置及研磨垫表面修整方法 [P].

蔡长益 .

中国专利 :CN110549239A ,2019-12-10

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