研磨垫修整器及化学机械研磨设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421550831.1

申请日：

2024-07-02

公开(公告)号：

CN222806793U

公开(公告)日：

2025-04-29

发明(设计)人：

顾浩杨俊男闫晓晖

申请人：

上海积塔半导体有限公司

申请人地址：

201306 上海市浦东新区自由贸易试验区临港新片区云水路600号

IPC主分类号：

B24B53/017

IPC分类号：

B24B37/005 B24B49/16

代理机构：

上海隆天律师事务所 31282

代理人：

夏彬

法律状态：

授权

国省代码：

上海市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-29	授权	授权

共 50 条

[1]

研磨垫修整器及化学机械研磨设备 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN222114716U ,2024-12-06

[2]

研磨垫修整器及化学机械研磨设备 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN222269909U ,2024-12-31

[3]

研磨垫修整器及化学机械研磨装置 [P].

王海宽 ;

林宗贤 ;

吴龙江 ;

郭松辉 ;

吕新强 .

中国专利 :CN207273005U ,2018-04-27

[4]

研磨垫修整器及化学机械研磨设备 [P].

杨俊铖 .

中国专利 :CN111203800A ,2020-05-29

[5]

研磨垫修整器及化学机械研磨设备 [P].

张乐 ;

缪从海 .

中国专利 :CN222553229U ,2025-03-04

[6]

研磨垫修整器及化学机械研磨装置 [P].

尹良宣 ;

高林 .

中国专利 :CN216859379U ,2022-07-01

[7]

研磨垫修整器及化学机械研磨装置 [P].

田得暄 ;

辛君 ;

林宗贤 ;

吴龙江 .

中国专利 :CN207448221U ,2018-06-05

[8]

研磨垫修整器及化学机械研磨装置 [P].

杨俊男 .

中国专利 :CN114603483A ,2022-06-10

[9]

研磨垫修整方法、研磨垫修整装置及化学机械研磨设备 [P].

陈盈同 .

中国专利 :CN106239356A ,2016-12-21

[10]

一种研磨垫修整器及化学机械研磨设备 [P].

陈俊杰 .

中国专利 :CN119795044A ,2025-04-11

← 1 2 3 4 5 →