共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
研磨垫修整方法、研磨垫修整装置及化学机械研磨设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201610802247.4
申请日：
2016-09-05
公开(公告)号：
CN106239356A
公开(公告)日：
2016-12-21
发明(设计)人：
陈盈同
申请人：
申请人地址：
中国台湾桃园县桃园市北兴街66号
IPC主分类号：
B24B3734
IPC分类号：
B24B3704
B24B53017
B24B5314
代理机构：
北京市商泰律师事务所 11255
代理人：
毛燕生
法律状态：
公开
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2016-12-21 | 公开 | 公开 |
| 2018-02-06 | 授权 | 授权 |
| 2017-01-18 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101697771344 IPC(主分类):B24B 37/34 专利申请号:2016108022474 申请日:20160905 |