等离子体处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811085673.6

申请日：

2018-09-18

公开(公告)号：

CN110600355B

公开(公告)日：

2019-12-20

发明(设计)人：

翁志强蔡陈德丁嘉仁徐瑞美李祐升刘志宏

申请人：

申请人地址：

中国台湾新竹县竹东镇中兴路4段195号

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

B24B3712

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

任岩

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-12-24	授权	授权
2020-01-14	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20180918
2019-12-20	公开	公开

共 50 条

[1]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

南象基 ;

林成龙 ;

刘钒镇 ;

宣钟宇 ;

韩奎熙 ;

许桄熀 ;

韩济愚 .

中国专利 :CN109559967A ,2019-04-02

[2]

等离子体处理装置及等离子体处理方法 [P].

叶如彬 ;

梁洁 ;

浦远 .

中国专利 :CN104733278A ,2015-06-24

[3]

等离子体处理装置 [P].

李金娟 .

中国专利 :CN213093171U ,2021-04-30

[4]

等离子体处理装置 [P].

松村浩 .

中国专利 :CN1226740A ,1999-08-25

[5]

等离子体处理装置 [P].

孙亨圭 .

中国专利 :CN102646569B ,2012-08-22

[6]

等离子体处理装置 [P].

梁洁 ;

叶如彬 .

中国专利 :CN104217914B ,2014-12-17

[7]

等离子体处理装置 [P].

李弘瑞 ;

叶靖 .

中国专利 :CN222883482U ,2025-05-16

[8]

等离子体处理装置 [P].

倪图强 .

中国专利 :CN201465987U ,2010-05-12

[9]

等离子体处理装置 [P].

孙溯 ;

彭帆 ;

张二辉 .

中国专利 :CN207731900U ,2018-08-14

[10]

等离子体处理装置 [P].

刘洋 .

中国专利 :CN213184200U ,2021-05-11

← 1 2 3 4 5 →