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研磨用组合物和研磨方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201880017925.3
申请日：
2018-02-28
公开(公告)号：
CN110402479A
公开(公告)日：
2019-11-01
发明(设计)人：
土屋公亮 谷口惠 沼田圭祐
申请人：
申请人地址：
日本爱知县
IPC主分类号：
H01L21304
IPC分类号：
B24B3700 C09G102 C09K314
代理机构：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277
代理人：
刘新宇;李茂家
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2019-11-01 公开 公开
2019-11-26 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/304 申请日:20180228
共 50 条
[1]
研磨用组合物和研磨方法 [P]. 
吉崎幸信 ;
山崎彩乃 .
中国专利 :CN112552824A ,2021-03-26
[2]
研磨用组合物和研磨用组合物套组 [P]. 
土屋公亮 ;
丹所久典 ;
市坪大辉 ;
浅田真希 .
中国专利 :CN109673157B ,2019-04-23
[3]
研磨用组合物、其制造方法和使用研磨用组合物的研磨方法 [P]. 
森嘉男 ;
谷口惠 ;
向井贵俊 ;
土屋公亮 .
中国专利 :CN110312776A ,2019-10-08
[4]
研磨用组合物 [P]. 
山崎智基 ;
牧野弘 .
日本专利 :CN111512419B ,2024-05-28
[5]
研磨用组合物 [P]. 
古本有加里 ;
市坪大辉 .
日本专利 :CN119654704A ,2025-03-18
[6]
研磨用组合物 [P]. 
山崎智基 ;
牧野弘 .
中国专利 :CN111512419A ,2020-08-07
[7]
研磨用组合物 [P]. 
土屋公亮 ;
浅田真希 ;
市坪大辉 .
中国专利 :CN113631680A ,2021-11-09
[8]
研磨用组合物 [P]. 
山崎智基 .
日本专利 :CN114846109B ,2024-06-07
[9]
研磨用组合物 [P]. 
山崎智基 .
中国专利 :CN113227310A ,2021-08-06
[10]
研磨用组合物 [P]. 
沼田圭祐 ;
土屋公亮 ;
谷口惠 ;
竹本贵之 .
中国专利 :CN110462797A ,2019-11-15
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