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一种集成电路芯片堆叠装置的调节机构
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201822128982.9
申请日：
2018-12-18
公开(公告)号：
CN208923058U
公开(公告)日：
2019-05-31
发明(设计)人：
尼博爱
申请人：
申请人地址：
311100 浙江省杭州市余杭区仓前街道海创科技中心
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-05-31 | 授权 | 授权 |
| 2020-11-27 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20181218 授权公告日:20190531 终止日期:20191218 |