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晶圆抓取结构、晶圆开槽设备及晶圆开槽方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011542154.5
申请日：
2020-12-23
公开(公告)号：
CN112864082A
公开(公告)日：
2021-05-28
发明(设计)人：
施心星
申请人：
申请人地址：
215123 江苏省苏州市金鸡湖大道99号04幢102室
IPC主分类号：
H01L21687
IPC分类号：
H01L2168
H01L2167
H01L21302
代理机构：
北京恒博知识产权代理有限公司 11528
代理人：
范胜祥
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-05-28 | 公开 | 公开 |
| 2021-06-15 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/687 申请日:20201223 |