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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2012-03-21 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101208130026 IPC(主分类):G03F 7/008 专利申请号:2010102477604 申请日:20100730 |
| 2012-02-08 | 公开 | 公开 |
| 2014-11-19 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101707427964 IPC(主分类):G03F 7/008 专利申请号:2010102477604 申请公布日:20120208 |