共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
等离子体增强化学气相沉积系统
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201920994978.2
申请日：
2019-06-28
公开(公告)号：
CN210458364U
公开(公告)日：
2020-05-05
发明(设计)人：
王家平
霍冬冬
申请人：
申请人地址：
116000 辽宁省大连市经济技术开发区淮河东路
IPC主分类号：
C23C1650
IPC分类号：
代理机构：
北京永新同创知识产权代理有限公司 11376
代理人：
刘兴鹏
法律状态：
授权
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-05-05 | 授权 | 授权 |