基板支承部件

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201680089194.4

申请日：

2016-09-15

公开(公告)号：

CN109690660A

公开(公告)日：

2019-04-26

发明(设计)人：

冈史贵

申请人：

申请人地址：

日本国大阪府堺市堺区匠町1番地

IPC主分类号：

G09F900

IPC分类号：

G02F11333 G02F11345

代理机构：

深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334

代理人：

汪飞亚;习冬梅

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-05-28	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G09F 9/00 申请公布日:20190426
2019-04-26	公开	公开
2019-05-21	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G09F 9/00 申请日:20160915

共 50 条

[1]

基板支承部件及具有基板支承部件的基板处理装置及方法 [P].

洪榕焄 ;

李康奭 ;

张素荣 ;

李贤俊 .

中国专利 :CN114078721A ,2022-02-22

[2]

支承部件 [P].

阿部岐令 .

中国专利 :CN103035225B ,2013-04-10

[3]

支承部件和具有支承部件的支承装置 [P].

D·卡姆 .

中国专利 :CN110871667A ,2020-03-10

[4]

支承部件 [P].

曾根康介 ;

小原一仁 .

中国专利 :CN108780987B ,2018-11-09

[5]

支承部件 [P].

曾根康介 ;

中山治 ;

田中徹儿 ;

森田光俊 .

中国专利 :CN108027042A ,2018-05-11

[6]

支承部件 [P].

广濑光典 .

日本专利 :CN116783407B ,2025-08-08

[7]

镜头支承部件 [P].

森本桂司 ;

系岛光彦 .

中国专利 :CN1146019A ,1997-03-26

[8]

支柱支承部件 [P].

韩元德 .

中国专利 :CN1802483A ,2006-07-12

[9]

椭圆状支承部件 [P].

青柳健一 ;

竹村振一 .

中国专利 :CN100595111C ,2007-08-08

[10]

盒和支承部件 [P].

深泽悠 ;

宗次广幸 .

中国专利 :CN106547187B ,2017-03-29

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