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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2008-06-18 | 公开 | 公开 |
| 2009-07-22 | 授权 | 授权 |
| 2008-08-13 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |
| 2011-12-21 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/822 专利号:ZL2006101473188 变更事项:专利权人 变更前权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 变更后权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号 变更后权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号 变更事项:共同专利权人 变更前权利人:无 变更后权利人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 登记生效日:20111111 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101241309836 |