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一种旋转靶材精确喷涂装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202020614849.9
申请日：
2020-04-22
公开(公告)号：
CN211628066U
公开(公告)日：
2020-10-02
发明(设计)人：
李兵
申请人：
申请人地址：
523000 广东省东莞市厚街镇汀山村汀山路121号
IPC主分类号：
G05B1905
IPC分类号：
B05B1304
代理机构：
北京天盾知识产权代理有限公司 11421
代理人：
林晓宏
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-10-02 | 授权 | 授权 |