一种旋转靶材精确喷涂装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202323321657.1

申请日：

2023-12-07

公开(公告)号：

CN221895108U

公开(公告)日：

2024-10-25

发明(设计)人：

陈箫箫高利陈光

申请人：

亚芯半导体材料（江苏）有限公司

申请人地址：

213000 江苏省常州市天宁区福阳路61号

IPC主分类号：

C23C14/35

IPC分类号：

代理机构：

常州德谨衡专利代理事务所(普通合伙) 32780

代理人：

成荣强

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-10-25	授权	授权

共 50 条

[1]

一种旋转靶材精确喷涂装置 [P].

李兵 .

中国专利 :CN211628066U ,2020-10-02

[2]

一种旋转靶材精确喷涂装置 [P].

李宪民 ;

其他发明人请求不公开姓名 .

中国专利 :CN214440245U ,2021-10-22

[3]

一种旋转靶材多段连接喷涂装置 [P].

张向东 ;

杨太礼 ;

张文勇 ;

王磊 .

中国专利 :CN213886751U ,2021-08-06

[4]

靶材喷涂装置 [P].

黄小鸥 .

中国专利 :CN206337308U ,2017-07-18

[5]

喷枪固定式旋转靶材喷涂装置 [P].

庄志杰 .

中国专利 :CN203429061U ,2014-02-12

[6]

一种平面靶材喷涂装置 [P].

田伟 ;

王雷 ;

常代展 .

中国专利 :CN220611003U ,2024-03-19

[7]

一种喷涂旋转靶材的冷却装置 [P].

石煜 ;

钟小平 .

中国专利 :CN202246827U ,2012-05-30

[8]

热喷涂旋转靶材冷却装置 [P].

胡习光 ;

秦国强 ;

张志祥 ;

常金永 .

中国专利 :CN203947150U ,2014-11-19

[9]

一种喷涂旋转靶材的监控装置 [P].

罗永春 .

中国专利 :CN202257164U ,2012-05-30

[10]

一种旋转靶材热喷涂系统 [P].

郑成添 ;

刘剑辉 ;

潘国飞 ;

区汉初 ;

李志刚 .

中国专利 :CN207276692U ,2018-04-27

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