光阻供给系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420381229.X

申请日：

2014-07-10

公开(公告)号：

CN204009355U

公开(公告)日：

2014-12-10

发明(设计)人：

叶逸舟朱晓峥杨晓松

申请人：

申请人地址：

100176 北京市大兴区北京经济技术开发区（亦庄）文昌大道18号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-12-10	授权	授权
2020-06-23	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20140710 授权公告日:20141210 终止日期:20190710

共 50 条

[1]

光阻供应系统 [P].

尹安和 .

中国专利 :CN201188171Y ,2009-01-28

[2]

一种光阻剂储存供给装置 [P].

梁云江 .

中国专利 :CN218064425U ,2022-12-16

[3]

光阻供液系统 [P].

杨柯 ;

朱成云 ;

古哲安 ;

黄志凯 .

中国专利 :CN210015326U ,2020-02-04

[4]

薄形光阻成形系统及薄形光阻成形设备 [P].

林刘恭 .

中国专利 :CN214320750U ,2021-10-01

[5]

光阻容纳装置和光阻供应系统 [P].

程龙 .

中国专利 :CN211628002U ,2020-10-02

[6]

一种燃油供给系统及其阻风门片 [P].

徐小平 ;

钱光明 ;

叶秀峰 .

中国专利 :CN209083431U ,2019-07-09

[7]

一种燃油供给系统及其阻风门轴 [P].

徐小平 ;

钱光明 ;

叶秀峰 .

中国专利 :CN209040988U ,2019-06-28

[8]

一种光阻供应系统 [P].

陶圆龙 .

中国专利 :CN205880498U ,2017-01-11

[9]

一种去光阻系统 [P].

柯嘉志 ;

林谷彦 ;

杭青岭 .

中国专利 :CN217506366U ,2022-09-27

[10]

灌装接头、光阻包材系统 [P].

邹米华 ;

徐海枫 ;

徐俊杰 ;

于凯杰 .

中国专利 :CN209554770U ,2019-10-29

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