一种光阻剂储存供给装置

被引：0

申请号：

CN202220991237.0

申请日：

2022-04-26

公开(公告)号：

CN218064425U

公开(公告)日：

2022-12-16

发明(设计)人：

梁云江

申请人：

申请人地址：

261000 山东省潍坊市昌乐县乔官镇朱孔路与省道223交叉口东100米

IPC主分类号：

F17D114

IPC分类号：

F17D301

代理机构：

北京博识智信专利代理事务所(普通合伙) 16067

代理人：

魏文密

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-16	授权	授权

共 50 条

[1]

一种光阻剂烘干装置 [P].

梁云江 .

中国专利 :CN221208806U ,2024-06-25

[2]

一种水性蚀刻光阻剂用储存罐 [P].

钟水英 ;

何伟富 ;

何伟豪 .

中国专利 :CN210133530U ,2020-03-10

[3]

一种水性蚀刻光阻剂脱气泡装置 [P].

钟水英 ;

何伟富 ;

何伟豪 .

中国专利 :CN209596616U ,2019-11-08

[4]

一种光阻剂喷涂装置 [P].

梁云江 .

中国专利 :CN221208600U ,2024-06-25

[5]

一种光阻剂气泡去除装置 [P].

梁云江 .

中国专利 :CN221286961U ,2024-07-09

[6]

一种光阻剂气泡去除装置 [P].

邢槐泽 ;

张国慧 .

中国专利 :CN223615429U ,2025-12-02

[7]

光阻供给系统 [P].

叶逸舟 ;

朱晓峥 ;

杨晓松 .

中国专利 :CN204009355U ,2014-12-10

[8]

一种堆栈式工件智能储存供给装置 [P].

畅望杰 ;

邵俊疆 ;

苏跃武 ;

畅福善 ;

杨德 ;

陈周娟 .

中国专利 :CN215286562U ,2021-12-24

[9]

一种水性蚀刻光阻剂渗透性能筛选装置 [P].

钟水英 ;

何伟富 ;

何伟豪 .

中国专利 :CN209597686U ,2019-11-08

[10]

一种废去光阻剂再生提纯的新型装置 [P].

王绪全 .

中国专利 :CN217015695U ,2022-07-22

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