一种可动多离子源配置的离子束刻蚀机

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910875474.3

申请日：

2019-09-17

公开(公告)号：

CN110571115B

公开(公告)日：

2019-12-13

发明(设计)人：

胡冬冬李娜许开东陈兆超邱勇程实然车东晨侯永刚

申请人：

申请人地址：

221300 江苏省徐州市邳州市经济开发区辽河西路8号

IPC主分类号：

H01J3708

IPC分类号：

H01J3702 H01J37305

代理机构：

南京经纬专利商标代理有限公司 32200

代理人：

李想

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-12-13	公开	公开
2020-01-07	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/08 申请日:20190917
2022-04-15	授权	授权

共 50 条

[1]

一种用于离子束刻蚀机的条形离子源 [P].

佘鹏程 ;

彭立波 ;

胡凡 ;

陈庆广 ;

毛朝斌 .

中国专利 :CN105405732A ,2016-03-16

[2]

一种用于离子束刻蚀机的大口径平行束离子源 [P].

孙雪平 ;

佘鹏程 ;

彭立波 ;

陈特超 ;

张赛 ;

毛朝斌 ;

胡凡 .

中国专利 :CN104362065B ,2015-02-18

[3]

离子束刻蚀机 [P].

王长梗 .

中国专利 :CN305928894S ,2020-07-17

[4]

离子束刻蚀机 [P].

佘鹏程 ;

陈庆广 ;

刘欣 ;

廖焕金 .

中国专利 :CN303551739S ,2016-01-13

[5]

触持阴极离子束刻蚀机 [P].

陈绍金 .

中国专利 :CN2281555Y ,1998-05-13

[6]

一种离子束刻蚀机及其刻蚀方法 [P].

施春燕 .

中国专利 :CN105957790B ,2016-09-21

[7]

一种小型集成式离子束刻蚀机 [P].

程厚义 ;

芮海林 ;

杜寅昌 ;

李玉婷 .

中国专利 :CN223501803U ,2025-10-31

[8]

一种射频离子源发生装置及离子束刻蚀设备 [P].

卓永生 ;

李正磊 ;

刘家湛 .

中国专利 :CN221282032U ,2024-07-05

[9]

离子束镀膜聚焦离子源 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN209312712U ,2019-08-27

[10]

一种全自动离子束刻蚀机 [P].

周杰海 .

中国专利 :CN208315502U ,2019-01-01

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