离子源控制系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200480039613.0

申请日：

2004-08-13

公开(公告)号：

CN1902728A

公开(公告)日：

2007-01-24

发明(设计)人：

塞蒂·G·韦恩沃勒·V·威廉

申请人：

申请人地址：

澳大利亚新南威尔士

IPC主分类号：

H01J3708

IPC分类号：

H01J2702

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

黄小临;王志森

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-01-24	公开	公开
2007-03-21	实质审查的生效	实质审查的生效
2013-10-02	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件序号:101526723233 IPC(主分类):H01J 37/08 专利号:ZL2004800396130 申请日:20040813 授权公告日:20090826 终止日期:20120813 号牌文件类型代码:1605
2009-08-26	授权	授权

共 50 条

[1]

电子轰击离子源控制系统 [P].

应刚 ;

张坤 .

中国专利 :CN102280348A ,2011-12-14

[2]

离子源驱动与控制系统 [P].

冀鸣 ;

刘伟基 ;

吴秋生 ;

曾文华 ;

唐晓敏 ;

易洪波 ;

赵刚 ;

黄伟栋 ;

刘运鸿 .

中国专利 :CN306230195S ,2020-12-15

[3]

电子轰击离子源控制系统 [P].

应刚 ;

张坤 .

中国专利 :CN201829451U ,2011-05-11

[4]

离子源引出缝调节控制系统 [P].

谢均宇 ;

孙勇 ;

王玮琪 ;

王迪平 .

中国专利 :CN200964436Y ,2007-10-24

[5]

离子源送气流量控制系统 [P].

唐景庭 ;

伍三忠 ;

郭健辉 ;

彭立波 ;

王迪平 ;

孙勇 ;

许波涛 ;

易文杰 ;

姚志丹 ;

孙雪平 ;

谢均宇 .

中国专利 :CN2867417Y ,2007-02-07

[6]

一种新型离子源控制系统 [P].

叶圣双 .

中国专利 :CN218213851U ,2023-01-03

[7]

射频离子源瞬态响应电源控制系统 [P].

冀鸣 ;

曾文华 ;

刘伟基 ;

刘运鸿 .

中国专利 :CN119739094A ,2025-04-01

[8]

离子源进气实时控制系统及控制方法 [P].

胡纯栋 ;

刘胜 ;

盛鹏 ;

宋士花 ;

刘智民 ;

王绍虎 .

中国专利 :CN1996546A ,2007-07-11

[9]

离子源的电源系统及离子源装置 [P].

曾文华 ;

刘伟基 ;

冀鸣 ;

刘运鸿 .

中国专利 :CN111740566A ,2020-10-02

[10]

离子源的电源系统及离子源装置 [P].

曾文华 ;

刘伟基 ;

冀鸣 ;

刘运鸿 .

中国专利 :CN212323979U ,2021-01-08

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