一种半导体零件清洗承载装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201520025320.2

申请日：

2015-01-14

公开(公告)号：

CN204332923U

公开(公告)日：

2015-05-13

发明(设计)人：

周润锋陈杰沈祥江

申请人：

申请人地址：

100176 北京市大兴区经济技术开发区（亦庄）文昌大道18号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

上海光华专利事务所 31219

代理人：

余明伟

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-05-13	授权	授权
2020-01-03	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20150114 授权公告日:20150513 终止日期:20190114

共 50 条

[1]

一种半导体零件清洗承载装置 [P].

王灿 .

中国专利 :CN222673015U ,2025-03-25

[2]

一种半导体零件清洗装置 [P].

张跃宏 .

中国专利 :CN207381373U ,2018-05-18

[3]

一种半导体零件清洗装置 [P].

张跃宏 .

中国专利 :CN107634022A ,2018-01-26

[4]

一种半导体零件清洗装置 [P].

张涛 ;

曲海燕 ;

刘泽华 .

中国专利 :CN222985117U ,2025-06-17

[5]

半导体设备零件承载台车 [P].

李澄盛 .

中国专利 :CN205122553U ,2016-03-30

[6]

半导体设备零件承载台车 [P].

李澄盛 .

中国专利 :CN205113376U ,2016-03-30

[7]

半导体设备零件承载台车 [P].

李澄盛 .

中国专利 :CN205122544U ,2016-03-30

[8]

一种半导体设备零件承载台车 [P].

杨志勇 ;

单庆喜 ;

刘芳亮 ;

田飞 .

中国专利 :CN213862267U ,2021-08-03

[9]

一种半导体设备零件承载台车 [P].

唐为波 ;

王明浩 ;

丁晓娟 .

中国专利 :CN221233805U ,2024-06-28

[10]

一种半导体设备零件承载台车 [P].

徐宏进 .

中国专利 :CN210379001U ,2020-04-21

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