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一种半导体设备零件承载台车
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202022207171.5
申请日：
2020-09-30
公开(公告)号：
CN213862267U
公开(公告)日：
2021-08-03
发明(设计)人：
杨志勇
单庆喜
刘芳亮
田飞
申请人：
申请人地址：
225000 江苏省扬州市高新区华钢路8-1号清华大学智能装备园
IPC主分类号：
B62B300
IPC分类号：
B62B500
代理机构：
南京常青藤知识产权代理有限公司 32286
代理人：
于薇
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-08-03 | 授权 | 授权 |