抛光头

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专利类型
发明
申请号
CN201410384793.1
申请日
2014-08-07
公开(公告)号
CN104162834B
公开(公告)日
2014-11-26
发明(设计)人
陈菊芳
申请人
申请人地址
325200 浙江省温州市瑞安市仙降街道塘头村114号
IPC主分类号
B24B41047
IPC分类号
H01L21304
代理机构
代理人
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
抛光头 [P]. 
陈菊芳 .
中国专利 :CN204053765U ,2014-12-31
[2]
抛光头 [P]. 
邢闯 ;
崔超 ;
魏佳勇 ;
沈长亮 ;
王杰 ;
马继红 .
中国专利 :CN206883381U ,2018-01-16
[3]
用于抛光机的抛光头 [P]. 
杨佳葳 ;
蒋罗雄 ;
龚涛 ;
李红春 .
中国专利 :CN205057765U ,2016-03-02
[4]
一种抛光头及抛光设备 [P]. 
梁同帅 ;
刘福强 ;
周庆亚 ;
王占想 ;
刘家成 .
中国专利 :CN120395681A ,2025-08-01
[5]
用于方形硅片的抛光头及抛光设备 [P]. 
刘家成 ;
庞浩 ;
杨宽 ;
梁同帅 ;
刘福强 ;
王占想 .
中国专利 :CN119609888A ,2025-03-14
[6]
一种用于抛光机的抛光头 [P]. 
杨佳葳 ;
蒋罗雄 ;
龚涛 ;
李红春 .
中国专利 :CN105108639A ,2015-12-02
[7]
一种抛光头和自动抛光机 [P]. 
何映华 ;
柯军辉 ;
吴聪 ;
刘欢 ;
李金开 .
中国专利 :CN113400191A ,2021-09-17
[8]
一种抛光头组件及化学机械抛光设备 [P]. 
请求不公布姓名 .
中国专利 :CN118650554A ,2024-09-17
[9]
一种非球面工件使用的抛光头 [P]. 
张鑫泉 ;
任明俊 ;
张哲 ;
石卓奇 ;
张宇恒 .
中国专利 :CN222971778U ,2025-06-13
[10]
一种可自动变径的抛光头 [P]. 
彭格芬 .
中国专利 :CN114473861A ,2022-05-13