用于方形硅片的抛光头及抛光设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510073638.6

申请日：

2025-01-16

公开(公告)号：

CN119609888A

公开(公告)日：

2025-03-14

发明(设计)人：

刘家成庞浩杨宽梁同帅刘福强王占想

申请人：

北京晶亦精微科技股份有限公司

申请人地址：

100176 北京市大兴区经济技术开发区泰河三街1号2幢2层101

IPC主分类号：

B24B29/02

IPC分类号：

B24B41/04

代理机构：

河北国维致远知识产权代理有限公司 13137

代理人：

李然

法律状态：

公开

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-14	公开	公开
2025-04-01	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B24B 29/02申请日:20250116

共 50 条

[1]

抛光方法、抛光头、最终抛光设备及硅片 [P].

贺云鹏 ;

王明 .

中国专利 :CN119748312A ,2025-04-04

[2]

用于抛光设备的抛光头夹持机构 [P].

陈勇 .

中国专利 :CN206561341U ,2017-10-17

[3]

多腔室抛光头及抛光设备 [P].

梁同帅 ;

杨宽 ;

庞浩 ;

王占想 ;

刘家成 ;

王艺博 .

中国专利 :CN119609911A ,2025-03-14

[4]

一种抛光头及抛光设备 [P].

梁同帅 ;

刘福强 ;

周庆亚 ;

王占想 ;

刘家成 .

中国专利 :CN120395681A ,2025-08-01

[5]

抛光头、抛光设备以及抛光头的使用方法 [P].

杨师 ;

费玖海 ;

李玉敏 ;

刘福强 ;

佀海燕 .

中国专利 :CN109202697A ,2019-01-15

[6]

抛光头以及抛光设备 [P].

陈杰 ;

王世军 ;

刘满生 ;

张卫平 .

中国专利 :CN212947166U ,2021-04-13

[7]

抛光头和抛光设备 [P].

杨易 ;

刘鑫博 ;

程子政 ;

李润豪 .

中国专利 :CN223339155U ,2025-09-16

[8]

抛光头和抛光设备 [P].

张舸 .

中国专利 :CN115890478B ,2024-11-22

[9]

抛光方法、抛光设备及硅片 [P].

贺云鹏 ;

王明 .

中国专利 :CN119427174A ,2025-02-14

[10]

曲面壳体抛光头、抛光器件及抛光设备 [P].

李倩倩 ;

陈亚兵 ;

付弦 ;

尹振武 ;

许仁 .

中国专利 :CN216883344U ,2022-07-05

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