一种液态金属靶材及其制备合金膜的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910161639.0

申请日：

2019-03-04

公开(公告)号：

CN109763109B

公开(公告)日：

2019-05-17

发明(设计)人：

崔云涛田利丰刘静

申请人：

申请人地址：

100190 北京市海淀区中关村东路29号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

C23C1416 C23C1458 C22C2800 H01L31032

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司 11002

代理人：

王文君;陈征

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-06-11	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20190304
2019-05-17	公开	公开
2022-03-04	授权	授权

共 50 条

[1]

自填充液态金属靶材及其制备方法和应用 [P].

田利丰 ;

崔云涛 ;

孟祥敏 ;

刘培 .

中国专利 :CN118064850A ,2024-05-24

[2]

同轴针形结构的液态金属靶材及其制备方法和应用 [P].

田利丰 ;

崔云涛 ;

孟祥敏 .

中国专利 :CN118064849A ,2024-05-24

[3]

一种金属锂靶材及其制备方法 [P].

吴娇 ;

艾旺圣 ;

王广 ;

晏晋 ;

李露 ;

刘强 .

中国专利 :CN119351958A ,2025-01-24

[4]

一种金属靶材及其制备方法 [P].

侯庆龙 ;

卢晓鹏 ;

周贤界 ;

黄岩 ;

黄小玲 ;

黄勇彪 .

中国专利 :CN121082839A ,2025-12-09

[5]

一种彩色液态金属及其制备方法 [P].

后仪 ;

常浩 ;

饶伟 ;

刘静 .

中国专利 :CN109722699A ,2019-05-07

[6]

一种镍基合金靶材的制备方法 [P].

王兰 ;

黄宇彬 ;

童培云 ;

朱刘 .

中国专利 :CN114293159B ,2024-01-19

[7]

一种镍铬合金靶材及其制备方法 [P].

刘联平 ;

马国成 ;

童培云 ;

钟小华 ;

高建成 .

中国专利 :CN119121147A ,2024-12-13

[8]

一种镍基合金靶材的制备方法 [P].

王兰 ;

黄宇彬 ;

童培云 ;

朱刘 .

中国专利 :CN114293159A ,2022-04-08

[9]

一种旋转金属靶材及其制备方法 [P].

唐智勇 ;

张玮峰 .

中国专利 :CN119615080A ,2025-03-14

[10]

溅射金属靶材及其制备方法和应用 [P].

姜庆 ;

袁海江 .

中国专利 :CN114657526A ,2022-06-24

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