同轴针形结构的液态金属靶材及其制备方法和应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202211468986.6

申请日：

2022-11-22

公开(公告)号：

CN118064849A

公开(公告)日：

2024-05-24

发明(设计)人：

田利丰崔云涛孟祥敏

申请人：

中国科学院理化技术研究所

申请人地址：

100190 北京市海淀区中关村东路29号

IPC主分类号：

C23C14/35

IPC分类号：

C22C28/00

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司 11002

代理人：

李文丽

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

北京市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-06-11	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/35申请日:20221122
2024-05-24	公开	公开

共 50 条

[1]

自填充液态金属靶材及其制备方法和应用 [P].

田利丰 ;

崔云涛 ;

孟祥敏 ;

刘培 .

中国专利 :CN118064850A ,2024-05-24

[2]

溅射金属靶材及其制备方法和应用 [P].

姜庆 ;

袁海江 .

中国专利 :CN114657526A ,2022-06-24

[3]

溅射金属靶材及其制备方法和应用 [P].

姜庆 ;

袁海江 .

中国专利 :CN114657526B ,2024-07-02

[4]

一种液态金属靶材及其制备合金膜的方法 [P].

崔云涛 ;

田利丰 ;

刘静 .

中国专利 :CN109763109B ,2019-05-17

[5]

液态金属薄膜及其制备方法和应用 [P].

邓必为 ;

滑建冠 ;

刘宜 .

中国专利 :CN119676970A ,2025-03-21

[6]

一种金属旋转靶材及其制备方法和应用 [P].

张科 ;

陈钦忠 ;

林志河 ;

曹建亮 .

中国专利 :CN110394603A ,2019-11-01

[7]

液态金属导电油墨及其制备方法和应用 [P].

蒋兴宇 ;

齐杰 .

中国专利 :CN116023822B ,2024-04-02

[8]

半导体材料前驱体、金属靶材及制备方法和应用 [P].

李昊臻 ;

杜小龙 ;

陈兴谦 ;

李子 ;

王燕 ;

刘尧平 .

中国专利 :CN117364037A ,2024-01-09

[9]

液态金属导电纤维及其制备方法和应用 [P].

李润伟 ;

徐凤 ;

肖恢芸 ;

巫远招 ;

刘宜伟 ;

刘金云 ;

尚杰 .

中国专利 :CN120384345A ,2025-07-29

[10]

一种用于电致变色玻璃的金属靶材及其制备方法和应用方法 [P].

杨懿 ;

杨荣春 .

中国专利 :CN109825805A ,2019-05-31

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