一种铜抛光的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410283529.9

申请日：

2014-06-23

公开(公告)号：

CN104046990A

公开(公告)日：

2014-09-17

发明(设计)人：

宋云

申请人：

申请人地址：

543002 广西壮族自治区梧州市长洲区红岭路108号

IPC主分类号：

C23F306

IPC分类号：

代理机构：

广州市越秀区海心联合专利代理事务所(普通合伙) 44295

代理人：

黄为;蔡国

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-09-17	公开	公开
2014-10-22	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101587552586 IPC(主分类):C23F 3/06 专利申请号:2014102835299 申请日:20140623
2016-11-09	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101741209681 IPC(主分类):C23F 3/06 专利申请号:2014102835299 申请公布日:20140917

共 50 条

[1]

一种铜抛光剂及其制备方法 [P].

宋云 .

中国专利 :CN104046991A ,2014-09-17

[2]

一种铜及其合金的化学抛光方法 [P].

严振 .

中国专利 :CN104651842A ,2015-05-27

[3]

一种铜造像表面抛光的方法 [P].

吴永振 .

中国专利 :CN112981410A ,2021-06-18

[4]

一种用于铜互连抛光的工艺方法 [P].

荆建芬 ;

王雨春 ;

张建 ;

蔡鑫元 ;

姚颖 ;

陈宝明 .

中国专利 :CN103898511A ,2014-07-02

[5]

一种铜及合金表面处理用的化学抛光剂及其制备方法 [P].

许泽波 .

中国专利 :CN102747371A ,2012-10-24

[6]

一种用于铜及铜合金的电化学抛光液以及抛光方法 [P].

吴博文 ;

王兴刚 ;

于海超 .

中国专利 :CN120844181A ,2025-10-28

[7]

一种用于铜抛光的氧化铝抛光液及其制备方法 [P].

吴兴泽 .

中国专利 :CN110256968A ,2019-09-20

[8]

一种铜化学机械抛光液及其制备方法 [P].

李涛 ;

孙大陟 .

中国专利 :CN110951402A ,2020-04-03

[9]

一种铜镍硅系合金的电解抛光液及电解抛光方法 [P].

李放 ;

王淑娟 ;

丁超 .

中国专利 :CN118345496A ,2024-07-16

[10]

一种弱碱性铜抛光液 [P].

韩兴 ;

严乐乐 ;

金元 .

中国专利 :CN105885701A ,2016-08-24

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