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一种用于铜抛光的氧化铝抛光液及其制备方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN201910456920.7
申请日
:
2019-05-29
公开(公告)号
:
CN110256968A
公开(公告)日
:
2019-09-20
发明(设计)人
:
吴兴泽
申请人
:
申请人地址
:
426141 湖南省永州市祁阳县白水镇建业路7号
IPC主分类号
:
C09G102
IPC分类号
:
代理机构
:
代理人
:
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2021-01-01
授权
授权
2019-09-20
公开
公开
2019-10-22
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):C09G 1/02 申请日:20190529
共 50 条
[1]
用于合金抛光的氧化铝抛光液及其制备方法
[P].
曾名辉
论文数:
0
引用数:
0
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0
曾名辉
.
中国专利
:CN103937413A
,2014-07-23
[2]
一种氧化铝微粉抛光液及其制备方法
[P].
谢喜明
论文数:
0
引用数:
0
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0
谢喜明
;
纪发明
论文数:
0
引用数:
0
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0
纪发明
;
曾凯
论文数:
0
引用数:
0
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0
曾凯
.
中国专利
:CN108587474A
,2018-09-28
[3]
氧化铝抛光液及其制备方法
[P].
邹兴
论文数:
0
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0
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0
邹兴
;
蔡文必
论文数:
0
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0
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0
蔡文必
;
林武庆
论文数:
0
引用数:
0
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0
林武庆
.
中国专利
:CN114456718A
,2022-05-10
[4]
一种酸性氧化铝抛光液及其制备方法
[P].
汤盛峰
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
深圳金伟半导体材料有限公司
深圳金伟半导体材料有限公司
汤盛峰
;
周福兵
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
深圳金伟半导体材料有限公司
深圳金伟半导体材料有限公司
周福兵
;
肖凯
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
深圳金伟半导体材料有限公司
深圳金伟半导体材料有限公司
肖凯
;
韦欢
论文数:
0
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0
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0
机构:
深圳金伟半导体材料有限公司
深圳金伟半导体材料有限公司
韦欢
;
肖伟
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
深圳金伟半导体材料有限公司
深圳金伟半导体材料有限公司
肖伟
.
:CN118185479A
,2024-06-14
[5]
一种SIC晶圆CMP抛光用氧化铝抛光液及其制备方法
[P].
向定艾
论文数:
0
引用数:
0
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0
向定艾
.
中国专利
:CN115418170A
,2022-12-02
[6]
一种水性可控粒度的氧化铝抛光液的制备方法
[P].
贺文兵
论文数:
0
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0
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0
贺文兵
.
中国专利
:CN107699138A
,2018-02-16
[7]
一种用于树脂镜片的氧化铝抛光液的制备方法
[P].
宋伟红
论文数:
0
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0
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机构:
纳芯微电子(河南)有限公司
纳芯微电子(河南)有限公司
宋伟红
;
赵梦亦宋
论文数:
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机构:
纳芯微电子(河南)有限公司
纳芯微电子(河南)有限公司
赵梦亦宋
;
宋建伟
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机构:
纳芯微电子(河南)有限公司
纳芯微电子(河南)有限公司
宋建伟
;
宋维涛
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0
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机构:
纳芯微电子(河南)有限公司
纳芯微电子(河南)有限公司
宋维涛
;
蔡庆东
论文数:
0
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0
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0
机构:
纳芯微电子(河南)有限公司
纳芯微电子(河南)有限公司
蔡庆东
.
中国专利
:CN117801683A
,2024-04-02
[8]
一种用于珍珠母贝抛光的氧化铝抛光液及其制备方法
[P].
常磊
论文数:
0
引用数:
0
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0
常磊
;
付素荣
论文数:
0
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0
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付素荣
;
王志伟
论文数:
0
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0
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0
王志伟
;
付存
论文数:
0
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0
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0
付存
;
汪静
论文数:
0
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0
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0
汪静
.
中国专利
:CN113943534B
,2022-01-18
[9]
一种氧化铝抛光液的制备方法
[P].
黄美香
论文数:
0
引用数:
0
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0
黄美香
.
中国专利
:CN107083192A
,2017-08-22
[10]
一种氧化铝抛光液的制备方法
[P].
丁春香
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
丁春香
.
中国专利
:CN108641602A
,2018-10-12
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