一种用于树脂镜片的氧化铝抛光液的制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202311841075.8
申请日
2023-12-28
公开(公告)号
CN117801683A
公开(公告)日
2024-04-02
发明(设计)人
宋伟红 赵梦亦宋 宋建伟 宋维涛 蔡庆东
申请人
纳芯微电子(河南)有限公司
申请人地址
467000 河南省平顶山市新城区滍水路与夏耘路交叉口东北角中兴产业园2号楼3楼整层,1号楼1楼东
IPC主分类号
C09G1/02
IPC分类号
代理机构
河南成蹊知识产权代理事务所(普通合伙) 41233
代理人
张明镜
法律状态
公开
国省代码
内蒙古自治区 呼和浩特市
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共 50 条
[1]
一种氧化铝基质的树脂镜片抛光液及其制备方法 [P]. 
周利虎 ;
刘宇杰 ;
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[2]
用于合金抛光的氧化铝抛光液及其制备方法 [P]. 
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[3]
一种用于铜抛光的氧化铝抛光液及其制备方法 [P]. 
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中国专利 :CN110256968A ,2019-09-20
[4]
一种水性可控粒度的氧化铝抛光液的制备方法 [P]. 
贺文兵 .
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[5]
氧化铝抛光液及其制备方法 [P]. 
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蔡文必 ;
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[6]
一种酸性氧化铝抛光液及其制备方法 [P]. 
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周福兵 ;
肖凯 ;
韦欢 ;
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[7]
一种氧化铝抛光液 [P]. 
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[8]
一种氧化铝抛光液的制备方法 [P]. 
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[9]
一种氧化铝抛光液的制备方法 [P]. 
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[10]
一种SIC晶圆CMP抛光用氧化铝抛光液及其制备方法 [P]. 
向定艾 .
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