氧化铝抛光液及其制备方法

被引：0

申请号：

CN202210324896.3

申请日：

2022-03-29

公开(公告)号：

CN114456718A

公开(公告)日：

2022-05-10

发明(设计)人：

邹兴蔡文必林武庆

申请人：

申请人地址：

410000 湖南省长沙市高新开发区长沙岳麓西大道2450号环创园B1栋2405房

IPC主分类号：

C09G102

IPC分类号：

代理机构：

北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463

代理人：

姚大雷

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-27	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C09G 1/02 申请日:20220329
2022-05-10	公开	公开

共 50 条

[1]

高精度氧化铝抛光液及其制备方法 [P].

高璐 ;

蒙素玲 ;

赵月昌 ;

李速娟 ;

张鹏 ;

杨筱琼 ;

顾捐永 ;

李冉 .

中国专利 :CN101831244A ,2010-09-15

[2]

用于合金抛光的氧化铝抛光液及其制备方法 [P].

曾名辉 .

中国专利 :CN103937413A ,2014-07-23

[3]

一种氧化铝抛光液及其制备方法 [P].

张理纲 .

中国专利 :CN111548738A ,2020-08-18

[4]

一种SIC晶圆CMP抛光用氧化铝抛光液及其制备方法 [P].

向定艾 .

中国专利 :CN115418170A ,2022-12-02

[5]

一种蓝宝石抛光用氧化铝抛光液及其制备方法 [P].

付存 ;

刘丹丹 ;

王森 ;

汪静 .

中国专利 :CN110591565A ,2019-12-20

[6]

一种抛光蓝宝石用氧化铝抛光液及其制备方法 [P].

彭阳峰 ;

平富勤 ;

赵月昌 ;

杨筱琼 .

中国专利 :CN114456716A ,2022-05-10

[7]

一种用于铜抛光的氧化铝抛光液及其制备方法 [P].

吴兴泽 .

中国专利 :CN110256968A ,2019-09-20

[8]

一种酸性氧化铝抛光液及其制备方法 [P].

汤盛峰 ;

周福兵 ;

肖凯 ;

韦欢 ;

肖伟 .

:CN118185479A ,2024-06-14

[9]

一种氧化铝抛光液 [P].

王军强 .

中国专利 :CN110283533A ,2019-09-27

[10]

一种氧化铝抛光液及其制备方法 [P].

柴杰 ;

刘金凤 .

中国专利 :CN116515401B ,2025-04-01

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