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一种SIC晶圆CMP抛光用氧化铝抛光液及其制备方法
被引：0
申请号：
CN202211179188.1
申请日：
2022-09-27
公开(公告)号：
CN115418170A
公开(公告)日：
2022-12-02
发明(设计)人：
向定艾
申请人：
申请人地址：
618000 四川省德阳市旌阳区天元镇(景福)秋月村四组6幢
IPC主分类号：
C09G102
IPC分类号：
H01L2102
代理机构：
成都汇浪淘知识产权代理事务所(普通合伙) 51381
代理人：
陈莉
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-12-02 | 公开 | 公开 |
| 2022-12-20 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C09G 1/02 申请日:20220927 |