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一种芯片研磨机的研磨盘冷却装置
被引:0
申请号
:
CN202220756136.5
申请日
:
2022-04-01
公开(公告)号
:
CN216991440U
公开(公告)日
:
2022-07-19
发明(设计)人
:
郭胜平
王国兵
李军
申请人
:
申请人地址
:
215500 江苏省苏州市常熟市辛庄镇沙洞路69号
IPC主分类号
:
B24B5503
IPC分类号
:
代理机构
:
苏州国卓知识产权代理有限公司 32331
代理人
:
刘颖棋
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2022-07-19
授权
授权
共 50 条
[1]
一种芯片研磨机的研磨盘冷却装置
[P].
赵亮
论文数:
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赵亮
;
曾庆华
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曾庆华
;
曾庆明
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曾庆明
.
中国专利
:CN215240223U
,2021-12-21
[2]
一种芯片研磨机的研磨盘冷却机构
[P].
宋干
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宋干
.
中国专利
:CN115648059A
,2023-01-31
[3]
一种芯片研磨机的研磨盘冷却机构及其冷却方法
[P].
王强
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机构:
浙江精瓷半导体有限责任公司
浙江精瓷半导体有限责任公司
王强
;
姚尹斌
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机构:
浙江精瓷半导体有限责任公司
浙江精瓷半导体有限责任公司
姚尹斌
;
钟水民
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机构:
浙江精瓷半导体有限责任公司
浙江精瓷半导体有限责任公司
钟水民
;
欧阳琦
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机构:
浙江精瓷半导体有限责任公司
浙江精瓷半导体有限责任公司
欧阳琦
;
赖新建
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机构:
浙江精瓷半导体有限责任公司
浙江精瓷半导体有限责任公司
赖新建
;
金垚丞
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机构:
浙江精瓷半导体有限责任公司
浙江精瓷半导体有限责任公司
金垚丞
.
中国专利
:CN118372178B
,2025-01-07
[4]
一种芯片研磨机的研磨盘冷却机构及其冷却方法
[P].
王强
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机构:
浙江精瓷半导体有限责任公司
浙江精瓷半导体有限责任公司
王强
;
姚尹斌
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机构:
浙江精瓷半导体有限责任公司
浙江精瓷半导体有限责任公司
姚尹斌
;
钟水民
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机构:
浙江精瓷半导体有限责任公司
浙江精瓷半导体有限责任公司
钟水民
;
欧阳琦
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机构:
浙江精瓷半导体有限责任公司
浙江精瓷半导体有限责任公司
欧阳琦
;
赖新建
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机构:
浙江精瓷半导体有限责任公司
浙江精瓷半导体有限责任公司
赖新建
;
金垚丞
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机构:
浙江精瓷半导体有限责任公司
浙江精瓷半导体有限责任公司
金垚丞
.
中国专利
:CN118372178A
,2024-07-23
[5]
带有研磨盘冷却机构的平面研磨机
[P].
王成勇
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王成勇
;
袁慧
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袁慧
;
陶玉志
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陶玉志
;
宋月贤
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宋月贤
.
中国专利
:CN201291400Y
,2009-08-19
[6]
一种带有研磨盘冷却机构的平面研磨机
[P].
王成勇
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王成勇
;
袁慧
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袁慧
;
陶玉志
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陶玉志
;
宋月贤
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宋月贤
.
中国专利
:CN101407040A
,2009-04-15
[7]
一种单面研磨机的研磨冷却装置
[P].
黄金民
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黄金民
;
范玉辉
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范玉辉
;
黄绮珊
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黄绮珊
;
胡喜国
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胡喜国
.
中国专利
:CN213669577U
,2021-07-13
[8]
研磨机研磨盘测量装置
[P].
程路平
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程路平
.
中国专利
:CN104654989A
,2015-05-27
[9]
纸浆研磨机的研磨盘
[P].
解敬伟
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解敬伟
;
张晓玉
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张晓玉
.
中国专利
:CN210916790U
,2020-07-03
[10]
平面研磨机的研磨盘
[P].
廖建勇
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廖建勇
;
廖成勇
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廖成勇
;
张海鹰
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张海鹰
;
曾伟
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曾伟
.
中国专利
:CN201380431Y
,2010-01-13
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