一种芯片研磨机的研磨盘冷却装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202121394816.9

申请日：

2021-06-23

公开(公告)号：

CN215240223U

公开(公告)日：

2021-12-21

发明(设计)人：

赵亮曾庆华曾庆明

申请人：

申请人地址：

241300 安徽省芜湖市南陵县经济开发区夫子岭路9号

IPC主分类号：

B24B5503

IPC分类号：

B24B2700 B24B722 B24B3734 B24B3708

代理机构：

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法律状态：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-12-21	授权	授权

共 50 条

[1]

一种芯片研磨机的研磨盘冷却装置 [P].

郭胜平 ;

王国兵 ;

李军 .

中国专利 :CN216991440U ,2022-07-19

[2]

一种芯片研磨机的研磨盘冷却机构及其冷却方法 [P].

王强 ;

姚尹斌 ;

钟水民 ;

欧阳琦 ;

赖新建 ;

金垚丞 .

中国专利 :CN118372178B ,2025-01-07

[3]

一种芯片研磨机的研磨盘冷却机构及其冷却方法 [P].

王强 ;

姚尹斌 ;

钟水民 ;

欧阳琦 ;

赖新建 ;

金垚丞 .

中国专利 :CN118372178A ,2024-07-23

[4]

一种芯片研磨机的研磨盘冷却机构 [P].

宋干 .

中国专利 :CN115648059A ,2023-01-31

[5]

带有研磨盘冷却机构的平面研磨机 [P].

王成勇 ;

袁慧 ;

陶玉志 ;

宋月贤 .

中国专利 :CN201291400Y ,2009-08-19

[6]

芯片研磨机的研磨液喷液装置 [P].

曾庆华 ;

赵亮 ;

曾庆明 .

中国专利 :CN215240151U ,2021-12-21

[7]

一种单面研磨机的研磨冷却装置 [P].

赵强 .

中国专利 :CN204171869U ,2015-02-25

[8]

纸浆研磨机的研磨盘 [P].

解敬伟 ;

张晓玉 .

中国专利 :CN210916790U ,2020-07-03

[9]

平面研磨机的研磨盘 [P].

廖建勇 ;

廖成勇 ;

张海鹰 ;

曾伟 .

中国专利 :CN201380431Y ,2010-01-13

[10]

研磨机研磨盘组件 [P].

刘德林 ;

曾化平 .

中国专利 :CN202491165U ,2012-10-17

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