芯片研磨机的研磨液喷液装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202121394728.9

申请日：

2021-06-23

公开(公告)号：

CN215240151U

公开(公告)日：

2021-12-21

发明(设计)人：

曾庆华赵亮曾庆明

申请人：

申请人地址：

241300 安徽省芜湖市南陵县经济开发区夫子岭路9号

IPC主分类号：

B24B3710

IPC分类号：

B24B3734 B24B5702 B24B4712

代理机构：

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法律状态：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-12-21	授权	授权

共 50 条

[1]

一种芯片研磨机的研磨盘冷却装置 [P].

赵亮 ;

曾庆华 ;

曾庆明 .

中国专利 :CN215240223U ,2021-12-21

[2]

适用于研磨机的研磨液循环使用装置 [P].

曾庆明 ;

赵慧 .

中国专利 :CN212145966U ,2020-12-15

[3]

一种研磨液均匀出液的研磨机 [P].

沈惠芳 .

中国专利 :CN220806692U ,2024-04-19

[4]

研磨机加液装置 [P].

梁红雨 .

中国专利 :CN204076027U ,2015-01-07

[5]

研磨机用研磨液多级过滤装置 [P].

黄金民 ;

范玉辉 ;

黄金江 ;

黄绮珊 ;

胡国喜 .

中国专利 :CN211890448U ,2020-11-10

[6]

研磨机用研磨液喷头调节装置 [P].

韩文光 .

中国专利 :CN218017921U ,2022-12-13

[7]

研磨液供给装置及研磨机 [P].

刘志伟 ;

周庆亚 ;

刘福强 ;

田洪涛 .

中国专利 :CN114833725A ,2022-08-02

[8]

悬浮混合液研磨机 [P].

陶连生 ;

陈悦 ;

朱子浩 .

中国专利 :CN221934086U ,2024-11-01

[9]

单面研磨机滴液装置 [P].

张兴资 ;

肖迪 ;

郑东 .

中国专利 :CN213970608U ,2021-08-17

[10]

研磨机自动滴液装置 [P].

吕秋斌 ;

李勇 ;

沈向前 ;

李蕴哲 ;

段雪梅 .

中国专利 :CN203542376U ,2014-04-16

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