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键合装置及键合方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201911068958.3
申请日：
2019-11-05
公开(公告)号：
CN111146101A
公开(公告)日：
2020-05-12
发明(设计)人：
吴明洙
朴头山
秦贤哲
申熙钟
申请人：
申请人地址：
韩国京畿道
IPC主分类号：
H01L21603
IPC分类号：
代理机构：
北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204
代理人：
王达佐;刘铮
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-05-12 | 公开 | 公开 |
| 2021-11-19 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/603 申请日:20191105 |