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键合装置、键合系统及键合方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410404953.8
申请日：
2024-04-07
公开(公告)号：
CN117995730B
公开(公告)日：
2024-07-12
发明(设计)人：
杨轩毅
刘普然
李官志
申请人：
芯联集成电路制造股份有限公司
申请人地址：
312000 浙江省绍兴市越城区皋埠街道临江路518号
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/683
H01L21/18
代理机构：
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237
代理人：
曹廷廷
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-05-24 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20240407 |
| 2024-05-07 | 公开 | 公开 |
| 2024-07-12 | 授权 | 授权 |