键合设备及键合方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410096030.0

申请日：

2024-01-23

公开(公告)号：

CN117954336A

公开(公告)日：

2024-04-30

发明(设计)人：

华国杰朱翼先张豹王利超盛越

申请人：

北京华卓精科科技股份有限公司

申请人地址：

100176 北京市大兴区北京经济技术开发区科创十街19号院2号楼2层（北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团）

IPC主分类号：

H01L21/603

IPC分类号：

代理机构：

北京荟英捷创知识产权代理事务所(普通合伙) 11726

代理人：

谷立丽

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-17	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/603申请日:20240123
2024-04-30	公开	公开

共 50 条

[1]

键合设备 [P].

华国杰 ;

朱翼先 ;

张豹 ;

刘俊丰 ;

王利超 .

中国专利 :CN117855101A ,2024-04-09

[2]

键合设备 [P].

华国杰 ;

朱翼先 ;

张豹 ;

刘俊丰 ;

王利超 .

中国专利 :CN222168340U ,2024-12-13

[3]

一种键合设备及键合结构 [P].

吴胜吉 ;

谢锐 ;

姜建兴 ;

罗时红 ;

周敬冉 .

中国专利 :CN223230312U ,2025-08-15

[4]

用于晶圆键合和解键合的装置及晶圆键合和解键合方法 [P].

袁晓春 ;

张振敏 ;

周丹 .

中国专利 :CN112670215A ,2021-04-16

[5]

键合设备及键合方法 [P].

刘育 .

中国专利 :CN110137100A ,2019-08-16

[6]

键合设备和键合方法 [P].

朴钟赞 .

:CN121149036A ,2025-12-16

[7]

基底键合加压装置、基底键合设备及基底键合方法 [P].

陈飞彪 ;

郭耸 ;

朱鸷 .

中国专利 :CN114121710A ,2022-03-01

[8]

键合头、键合设备和键合方法 [P].

郭耸 ;

朱鸷 .

中国专利 :CN113327868A ,2021-08-31

[9]

键合头、键合设备、键合方法及存储介质 [P].

赵卓潮 .

中国专利 :CN119480658A ,2025-02-18

[10]

键合装置、键合系统及键合方法 [P].

杨轩毅 ;

刘普然 ;

李官志 .

中国专利 :CN117995730B ,2024-07-12

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