光刻物镜中透镜轴向调整装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310322848.1

申请日：

2013-07-29

公开(公告)号：

CN103389558A

公开(公告)日：

2013-11-13

发明(设计)人：

赵磊杨怀江隋永新郭抗王汝冬

申请人：

申请人地址：

130033 吉林省长春市东南湖大路3888号

IPC主分类号：

G02B702

IPC分类号：

G03F720

代理机构：

长春菁华专利商标代理事务所 22210

代理人：

南小平

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-12-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101550527158 IPC(主分类):G02B 7/02 专利申请号:2013103228481 申请日:20130729
2015-12-02	授权	授权
2013-11-13	公开	公开
2019-07-19	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G02B 7/02 申请日:20130729 授权公告日:20151202 终止日期:20180729

共 50 条

[1]

光学元件轴向调整装置 [P].

赵磊 ;

巩岩 ;

孙振 .

中国专利 :CN102981234A ,2013-03-20

[2]

光刻投影物镜中光学元件X-Y微动调整装置 [P].

赵磊 ;

巩岩 ;

于新峰 .

中国专利 :CN102854758A ,2013-01-02

[3]

投影光刻物镜的精密调整装置 [P].

方杨 .

中国专利 :CN102221737B ,2011-10-19

[4]

刀头轴向调整装置 [P].

温昊 .

中国专利 :CN202291996U ,2012-07-04

[5]

光刻投影物镜系统中光学元件的轴向宏微调节装置 [P].

彭海峰 ;

巩岩 ;

倪明阳 ;

赵磊 ;

秦硕 .

中国专利 :CN103472559A ,2013-12-25

[6]

轴向调整装置 [P].

郭岱 ;

孔德刚 ;

王建民 ;

薛强 ;

赵景申 ;

卫汉平 ;

程建国 ;

王艳丽 .

中国专利 :CN202726176U ,2013-02-13

[7]

轴向调整装置 [P].

李光台 .

中国专利 :CN103802173A ,2014-05-21

[8]

一种具有调心功能的光学元件轴向调整装置 [P].

赵磊 ;

巩岩 ;

张巍 ;

倪明阳 .

中国专利 :CN102169218A ,2011-08-31

[9]

一种投影物镜系统中光学元件轴向微动调整装置 [P].

赵磊 ;

巩岩 ;

倪明阳 ;

张巍 ;

王学亮 ;

袁文全 .

中国专利 :CN101900862A ,2010-12-01

[10]

光刻物镜中光学元件高精度支撑结构 [P].

赵磊 ;

巩岩 ;

于新峰 ;

彭海峰 .

中国专利 :CN102854597A ,2013-01-02

← 1 2 3 4 5 →