光刻投影物镜中光学元件X-Y微动调整装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210312612.5

申请日：

2012-08-29

公开(公告)号：

CN102854758A

公开(公告)日：

2013-01-02

发明(设计)人：

赵磊巩岩于新峰

申请人：

申请人地址：

130033 吉林省长春市东南湖大路3888号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G02B702

代理机构：

长春菁华专利商标代理事务所 22210

代理人：

南小平

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-01-02	公开	公开
2013-02-20	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101395933094 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2012103126125 申请日:20120829
2015-08-26	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101719778603 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2012103126125 申请公布日:20130102

共 50 条

[1]

光学元件X、Y、θZ三自由度微动调整装置 [P].

赵磊 ;

巩岩 ;

彭海峰 ;

于新峰 .

中国专利 :CN102707404A ,2012-10-03

[2]

光刻物镜中透镜轴向调整装置 [P].

赵磊 ;

杨怀江 ;

隋永新 ;

郭抗 ;

王汝冬 .

中国专利 :CN103389558A ,2013-11-13

[3]

一种投影物镜系统中光学元件轴向微动调整装置 [P].

赵磊 ;

巩岩 ;

倪明阳 ;

张巍 ;

王学亮 ;

袁文全 .

中国专利 :CN101900862A ,2010-12-01

[4]

光学元件Z、tip、tilt三自由度微动调整装置 [P].

赵磊 ;

巩岩 ;

倪明阳 ;

孙振 .

中国专利 :CN102722015A ,2012-10-10

[5]

光刻投影物镜系统中光学元件的轴向宏微调节装置 [P].

彭海峰 ;

巩岩 ;

倪明阳 ;

赵磊 ;

秦硕 .

中国专利 :CN103472559A ,2013-12-25

[6]

光学元件Z、tip、tilt三自由度微动调整装置 [P].

赵磊 ;

巩岩 ;

倪明阳 ;

孙振 .

中国专利 :CN102722016A ,2012-10-10

[7]

光刻投影物镜系统中光学元件多气囊支撑装置 [P].

彭海峰 ;

巩岩 ;

何欣 ;

陈华男 ;

李显凌 ;

倪明阳 .

中国专利 :CN103399387B ,2013-11-20

[8]

一种投影物镜系统中光学元件轴向调节装置 [P].

彭海峰 ;

巩岩 ;

孙振 ;

赵磊 ;

唐大为 .

中国专利 :CN103472690A ,2013-12-25

[9]

光刻物镜中光学元件高精度支撑结构 [P].

赵磊 ;

巩岩 ;

于新峰 ;

彭海峰 .

中国专利 :CN102854597A ,2013-01-02

[10]

投影光刻物镜的精密调整装置 [P].

方杨 .

中国专利 :CN102221737B ,2011-10-19

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