一种投影物镜系统中光学元件轴向调节装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310441772.4

申请日：

2013-09-25

公开(公告)号：

CN103472690A

公开(公告)日：

2013-12-25

发明(设计)人：

彭海峰巩岩孙振赵磊唐大为

申请人：

申请人地址：

130033 吉林省长春市东南湖大路3888号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G02B700 G02B702

代理机构：

长春菁华专利商标代理事务所 22210

代理人：

南小平

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-04-13	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101730750408 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2013104417724 申请公布日:20131225
2014-01-22	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101564924047 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2013104417724 申请日:20130925
2013-12-25	公开	公开

共 50 条

[1]

光刻投影物镜系统中光学元件的轴向宏微调节装置 [P].

彭海峰 ;

巩岩 ;

倪明阳 ;

赵磊 ;

秦硕 .

中国专利 :CN103472559A ,2013-12-25

[2]

一种投影物镜系统中光学元件轴向微动调整装置 [P].

赵磊 ;

巩岩 ;

倪明阳 ;

张巍 ;

王学亮 ;

袁文全 .

中国专利 :CN101900862A ,2010-12-01

[3]

一种投影物镜系统中光学元件调心装置 [P].

巩岩 ;

赵磊 ;

张巍 ;

倪明阳 .

中国专利 :CN102162894A ,2011-08-24

[4]

双电机光学元件轴向调节装置 [P].

彭海峰 ;

巩岩 ;

孙振 ;

华洋洋 ;

郭抗 ;

倪明阳 .

中国专利 :CN103472555B ,2013-12-25

[5]

光刻投影物镜系统中光学元件多气囊支撑装置 [P].

彭海峰 ;

巩岩 ;

何欣 ;

陈华男 ;

李显凌 ;

倪明阳 .

中国专利 :CN103399387B ,2013-11-20

[6]

光刻投影物镜中光学元件X-Y微动调整装置 [P].

赵磊 ;

巩岩 ;

于新峰 .

中国专利 :CN102854758A ,2013-01-02

[7]

一种光学元件轴向位置精密调整装置 [P].

陈华男 ;

郭抗 ;

倪明阳 ;

李显凌 ;

隋永新 ;

杨怀江 .

中国专利 :CN104749734B ,2015-07-01

[8]

光学元件轴向调整装置 [P].

赵磊 ;

巩岩 ;

孙振 .

中国专利 :CN102981234A ,2013-03-20

[9]

一种具有调心功能的光学元件轴向调整装置 [P].

赵磊 ;

巩岩 ;

张巍 ;

倪明阳 .

中国专利 :CN102169218A ,2011-08-31

[10]

投影物镜系统中光学元件重力变形气压差补偿装置及方法 [P].

赵磊 ;

巩岩 ;

张巍 ;

倪明阳 ;

王学亮 ;

袁文全 .

中国专利 :CN101907833A ,2010-12-08

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