一种投影物镜系统中光学元件调心装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110127023.5

申请日：

2011-05-17

公开(公告)号：

CN102162894A

公开(公告)日：

2011-08-24

发明(设计)人：

巩岩赵磊张巍倪明阳

申请人：

申请人地址：

130033 吉林省长春市东南湖大路3888号

IPC主分类号：

G02B702

IPC分类号：

G02B700 G03F720

代理机构：

长春菁华专利商标代理事务所 22210

代理人：

陶尊新

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-10-05	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101116512687 IPC(主分类):G02B 7/02 专利申请号:2011101270235 申请日:20110517
2011-08-24	公开	公开
2012-09-19	授权	授权

共 50 条

[1]

一种投影物镜系统中光学元件轴向调节装置 [P].

彭海峰 ;

巩岩 ;

孙振 ;

赵磊 ;

唐大为 .

中国专利 :CN103472690A ,2013-12-25

[2]

光刻投影物镜系统中光学元件多气囊支撑装置 [P].

彭海峰 ;

巩岩 ;

何欣 ;

陈华男 ;

李显凌 ;

倪明阳 .

中国专利 :CN103399387B ,2013-11-20

[3]

光刻投影物镜系统中光学元件的轴向宏微调节装置 [P].

彭海峰 ;

巩岩 ;

倪明阳 ;

赵磊 ;

秦硕 .

中国专利 :CN103472559A ,2013-12-25

[4]

一种投影物镜系统中光学元件轴向微动调整装置 [P].

赵磊 ;

巩岩 ;

倪明阳 ;

张巍 ;

王学亮 ;

袁文全 .

中国专利 :CN101900862A ,2010-12-01

[5]

一种具有调心功能的光学元件轴向调整装置 [P].

赵磊 ;

巩岩 ;

张巍 ;

倪明阳 .

中国专利 :CN102169218A ,2011-08-31

[6]

光刻投影物镜中光学元件X-Y微动调整装置 [P].

赵磊 ;

巩岩 ;

于新峰 .

中国专利 :CN102854758A ,2013-01-02

[7]

投影物镜系统中光学元件重力变形气压差补偿装置及方法 [P].

赵磊 ;

巩岩 ;

张巍 ;

倪明阳 ;

王学亮 ;

袁文全 .

中国专利 :CN101907833A ,2010-12-08

[8]

一种光学元件的调心装置 [P].

姜宏林 .

中国专利 :CN205484983U ,2016-08-17

[9]

投影系统中光学元件的装置 [P].

J·克勒 ;

R·施内尔 ;

G·贝内迪克斯 ;

E·皮勒 ;

H·J·梅斯纳 ;

B·豪尔 .

中国专利 :CN1536385A ,2004-10-13

[10]

深紫外投影光刻物镜的纳米级光学元件面形检测支撑工装 [P].

田伟 ;

王平 ;

王汝冬 ;

隋永新 .

中国专利 :CN105444694A ,2016-03-30

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