微机电系统元件

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410597394.3

申请日：

2014-10-30

公开(公告)号：

CN105293425A

公开(公告)日：

2016-02-03

发明(设计)人：

陈慧伦陈维孝王建堂刘楠罗兰德.V.盖德苏俊豪

申请人：

申请人地址：

中国台湾台南市

IPC主分类号：

B81B702

IPC分类号：

代理机构：

北京市柳沈律师事务所 11105

代理人：

陈小雯

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-03-02	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101649080165 IPC(主分类):B81B 7/02 专利申请号:2014105973943 申请日:20141030
2016-02-03	公开	公开
2019-07-26	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):B81B 7/02 申请公布日:20160203

共 50 条

[1]

微机电系统元件 [P].

郑照霖 ;

李世伟 .

中国专利 :CN119873725A ,2025-04-25

[2]

微机电系统元件及微机电系统元件的制造方法 [P].

稻叶正吾 ;

佐藤彰 .

中国专利 :CN1821050A ,2006-08-23

[3]

微机电系统元件制造方法及以此方法制造的微机电系统元件 [P].

罗炯成 ;

陈冠霖 .

中国专利 :CN104418296A ,2015-03-18

[4]

微机电系统元件及其制造方法 [P].

蝦名昭彦 .

中国专利 :CN104817052B ,2015-08-05

[5]

微机电系统元件及其制造方法 [P].

李岳刚 ;

陈立业 ;

蓝苡侨 .

中国专利 :CN105776123A ,2016-07-20

[6]

具有共构微机电感测单元的微机电系统元件 [P].

许郁文 ;

吴嘉昱 ;

林士杰 ;

林式庭 .

中国专利 :CN105319393A ,2016-02-10

[7]

微机电系统及微机电系统开关 [P].

罗伯托斯·佩特鲁斯·万·坎彭 .

中国专利 :CN115083845A ,2022-09-20

[8]

微机电系统继电器的接触元件 [P].

P·施莫尔林格鲁贝尔 ;

M·刘易斯 ;

J·赖因穆特 ;

B·克莱因 .

德国专利 :CN118541767A ,2024-08-23

[9]

微机电系统 [P].

W·克莱因 .

中国专利 :CN110015633A ,2019-07-16

[10]

微机电系统 [P].

阿努普·帕特尔 ;

尤安·詹姆斯·博伊德 ;

斯科特·莱尔·嘉吉 .

中国专利 :CN114302304A ,2022-04-08

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