微机电系统元件制造方法及以此方法制造的微机电系统元件

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410056277.6

申请日：

2014-02-19

公开(公告)号：

CN104418296A

公开(公告)日：

2015-03-18

发明(设计)人：

罗炯成陈冠霖

申请人：

申请人地址：

中国台湾新竹县竹北市

IPC主分类号：

B81C100

IPC分类号：

B81B700

代理机构：

中原信达知识产权代理有限责任公司 11219

代理人：

陈肖梅;谢丽娜

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-04-15	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101605747101 IPC(主分类):B81C 1/00 专利申请号:2014100562776 申请日:20140219
2015-03-18	公开	公开
2017-08-29	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101758086181 IPC(主分类):B81C 1/00 专利申请号:2014100562776 申请公布日:20150318

共 50 条

[1]

微机电系统元件及微机电系统元件的制造方法 [P].

稻叶正吾 ;

佐藤彰 .

中国专利 :CN1821050A ,2006-08-23

[2]

微机电系统元件及其制造方法 [P].

蝦名昭彦 .

中国专利 :CN104817052B ,2015-08-05

[3]

微机电系统元件及其制造方法 [P].

李岳刚 ;

陈立业 ;

蓝苡侨 .

中国专利 :CN105776123A ,2016-07-20

[4]

微机电系统元件 [P].

陈慧伦 ;

陈维孝 ;

王建堂 ;

刘楠 ;

罗兰德.V.盖德 ;

苏俊豪 .

中国专利 :CN105293425A ,2016-02-03

[5]

微机电系统元件 [P].

郑照霖 ;

李世伟 .

中国专利 :CN119873725A ,2025-04-25

[6]

微机电系统、用于制造微机电系统的方法 [P].

R·舍本 .

中国专利 :CN114074915A ,2022-02-22

[7]

微机电系统和制造微机电系统的方法 [P].

A.德赫 .

中国专利 :CN107128868A ,2017-09-05

[8]

微机电系统器件的制造方法及微机电系统器件 [P].

袁仁志 ;

林源为 .

中国专利 :CN114105086B ,2025-04-08

[9]

微机电系统器件的制造方法及微机电系统器件 [P].

袁仁志 ;

林源为 .

中国专利 :CN114105086A ,2022-03-01

[10]

微机电系统器件的制造方法及微机电系统器件 [P].

林源为 .

中国专利 :CN113184800A ,2021-07-30

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