微机电系统元件制造方法及以此方法制造的微机电系统元件

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410056277.6

申请日：

2014-02-19

公开(公告)号：

CN104418296A

公开(公告)日：

2015-03-18

发明(设计)人：

罗炯成陈冠霖

申请人：

申请人地址：

中国台湾新竹县竹北市

IPC主分类号：

B81C100

IPC分类号：

B81B700

代理机构：

中原信达知识产权代理有限责任公司 11219

代理人：

陈肖梅;谢丽娜

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-04-15	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101605747101 IPC(主分类):B81C 1/00 专利申请号:2014100562776 申请日:20140219
2015-03-18	公开	公开
2017-08-29	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101758086181 IPC(主分类):B81C 1/00 专利申请号:2014100562776 申请公布日:20150318

共 50 条

[11]

微机电系统和用于制造微机电系统的方法 [P].

托马斯·里塞奇 ;

法比安·斯托佩尔 .

中国专利 :CN106062914B ,2016-10-26

[12]

制造具有可动元件的微机电系统的方法 [P].

冈直正 ;

原田宏 ;

荻原淳 ;

福岛博司 ;

野毛宏 ;

铃木裕二 ;

河野清彦 ;

吉原孝明 ;

铃村正彦 .

中国专利 :CN1856440A ,2006-11-01

[13]

微机电系统换能器以及制造微机电系统换能器的方法 [P].

任天令 ;

刘星予 ;

杨轶 ;

颜豪贤 ;

康乔乔 ;

王乾 ;

张彦秀 ;

刘恩峰 .

中国专利 :CN120224098A ,2025-06-27

[14]

微机电系统器件的制造方法以及微机电系统器件 [P].

菅原德起 ;

八十岛健 ;

村本美幸 .

中国专利 :CN109304936A ,2019-02-05

[15]

微机电系统器件以及微机电系统器件的制造方法 [P].

黑川文弥 ;

会田康弘 .

日本专利 :CN118414298A ,2024-07-30

[16]

微机电系统器件以及微机电系统器件的制造方法 [P].

黑川文弥 ;

会田康弘 .

日本专利 :CN118434669A ,2024-08-02

[17]

微机电系统器件以及微机电系统器件的制造方法 [P].

福光政和 ;

阿尔蒂·托尔凯利 ;

维勒佩卡·利特克内 ;

安西·布洛姆奎斯特 ;

马蒂·硫克 ;

大川忠行 ;

彼得里·基尔皮宁 .

日本专利 :CN121219224A ,2025-12-26

[18]

微机电系统及其制造方法 [P].

斋藤友博 .

中国专利 :CN102674235B ,2012-09-19

[19]

微机电系统和制造方法 [P].

杨挺立 ;

吴凯第 ;

郑明达 ;

吕文雄 ;

林政仁 ;

康金玮 .

中国专利 :CN114988345A ,2022-09-02

[20]

微机电系统及其制造方法 [P].

吕文雄 ;

郑明达 ;

庄咏涵 ;

吴凯第 ;

刘旭伦 ;

李明机 .

中国专利 :CN113307222B ,2024-05-28

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