改进的晶圆研磨定位环结构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN02233745.8

申请日：

2002-05-17

公开(公告)号：

CN2570977Y

公开(公告)日：

2003-09-03

发明(设计)人：

陈水源陈水生陈添丁

申请人：

申请人地址：

台湾省新竹市

IPC主分类号：

H01L2168

IPC分类号：

H01L21304

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司

代理人：

董惠石

法律状态：

专利权的终止未缴年费专利权终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-07-11	专利权的终止未缴年费专利权终止	专利权的终止未缴年费专利权终止
2003-09-03	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆研磨定位环 [P].

黄瑞堂 .

中国专利 :CN201346740Y ,2009-11-18

[2]

改良的晶圆研磨定位环 [P].

陈水源 ;

陈水生 ;

陈添丁 .

中国专利 :CN2550898Y ,2003-05-14

[3]

晶圆研磨定位环 [P].

陈水源 ;

陈水生 ;

陈添丁 .

中国专利 :CN2447103Y ,2001-09-12

[4]

晶圆研磨定位环 [P].

蒋莉 ;

邵颖 .

中国专利 :CN201136124Y ,2008-10-22

[5]

晶圆研磨定位环 [P].

张伟光 ;

夏志平 .

中国专利 :CN201361816Y ,2009-12-16

[6]

晶圆研磨定位环 [P].

陈水源 ;

陈水生 ;

陈添丁 .

中国专利 :CN2521754Y ,2002-11-20

[7]

晶圆研磨定位环 [P].

陈水源 ;

陈水生 ;

陈添丁 .

中国专利 :CN2538485Y ,2003-03-05

[8]

晶圆研磨环结构 [P].

陈世发 .

中国专利 :CN201128105Y ,2008-10-08

[9]

一种晶圆研磨定位环 [P].

陈水源 ;

陈水生 ;

陈添丁 .

中国专利 :CN2447102Y ,2001-09-12

[10]

晶圆研磨定位环以及化学机械研磨设备 [P].

高思玮 ;

吴端毅 ;

林保璋 ;

张健 ;

张溢钢 .

中国专利 :CN201856158U ,2011-06-08

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