新型扩散炉

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201520230488.7

申请日：

2015-04-16

公开(公告)号：

CN204441262U

公开(公告)日：

2015-07-01

发明(设计)人：

朱良新

申请人：

申请人地址：

323010 浙江省丽水市水阁工业区惠民街5号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

杭州斯可睿专利事务所有限公司 33241

代理人：

周涌贺

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-04-03	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20150416 授权公告日:20150701 终止日期:20190416
2015-07-01	授权	授权

共 50 条

[1]

张玉 ;

胡俊龙 ;

丁志强 ;

刘岳章 ;

宁成森 .

中国专利 :CN220284291U ,2024-01-02

[2]

一种新型扩散炉 [P].

侯飞 .

中国专利 :CN203976978U ,2014-12-03

[3]

陈海燕 .

中国专利 :CN209722362U ,2019-12-03

[4]

防止掉舟的新型扩散炉 [P].

钟清海 .

中国专利 :CN207268575U ,2018-04-24

[5]

一种扩散炉 [P].

李苗苗 .

中国专利 :CN212934644U ,2021-04-09

[6]

扩散炉进气结构及扩散炉 [P].

梁笑 ;

毛文龙 ;

祁文杰 ;

翟俊 ;

高晓畅 .

中国专利 :CN217869195U ,2022-11-22

[7]

反应气体可均匀扩散的立式扩散炉 [P].

何威威 .

中国专利 :CN216624217U ,2022-05-27

[8]

新型扩散炉湿氧扩散装置 [P].

赵卫东 ;

赵枫 ;

赵雅 ;

郭盼盼 ;

杨冬琴 ;

李永仓 .

中国专利 :CN207303041U ,2018-05-01

[9]

立式扩散炉 [P].

张海林 ;

刘国霞 .

中国专利 :CN208954949U ,2019-06-07

[10]

扩散炉尾气处理系统及扩散炉 [P].

吴晓鹏 ;

彭致远 ;

卢俊峰 .

中国专利 :CN222578960U ,2025-03-07

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