一种多晶硅还原炉用石英陶瓷隔热罩

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201721816373.1
申请日
2017-12-22
公开(公告)号
CN207632509U
公开(公告)日
2018-07-20
发明(设计)人
陆佩蓉
申请人
申请人地址
201114 上海市闵行区浦江镇立跃路1768弄67号5号楼底层
IPC主分类号
C01B33035
IPC分类号
代理机构
北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427
代理人
陈娟
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种多晶硅还原炉用石英陶瓷隔热罩 [P]. 
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孙峰 ;
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多晶硅还原炉的节电保温隔热罩 [P]. 
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[4]
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[5]
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[7]
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[8]
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[9]
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[10]
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