一种多晶硅还原炉用隔热罩及其制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201210519897.X
申请日
2012-12-01
公开(公告)号
CN102992325B
公开(公告)日
2013-03-27
发明(设计)人
肖志超 苏君明 侯卫权 张瑞 谢英姿 聂道俊 李永军 薛宁娟
申请人
申请人地址
710075 陕西省西安市高新区高新路42号金融大厦1802室
IPC主分类号
C01B33021
IPC分类号
代理机构
西安创知专利事务所 61213
代理人
谭文琰
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
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